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ICP光譜儀基本組成

日期:2025-07-04 06:35
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摘要:
ICP光譜儀基本組成
  一臺典型的ICP光譜儀主要由一個光學平臺和一個檢測系統(tǒng)組成。包括以下幾個主要部分:
  1. 入射狹縫: 在入射光的照射下形成光譜儀成像系統(tǒng)的物點。
  2. ICP光譜儀準直元件: 使狹縫發(fā)出的光線變?yōu)槠叫泄?。該準直元件可以是一獨立的透鏡、反射鏡、或直接集成在色散元件上,如凹面光柵光譜儀中的凹面光柵。
  3. 色散元件: 通常采用光柵,使光信號在空間上按波長分散成為多條光束。
  4. 聚焦元件: 聚焦色散后的光束,使其在焦平面上形成一系列入射狹縫的像,其中每一像點對應于一特定波長。
  5. 探測器陣列:放置于焦平面,用于測量各波長像點的光強度。該探測器陣列可以是CCD陣列或其它種類的光探測器陣列。

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